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cherryjhy 发表于 2022-10-19 08:48:37

锥形相位掩模的Talbot像

摘要

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92256202.png

建模任务

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92342425.png
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P924113G.png

某一位置的Talbot图样

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92435607.png

不同位置的Talbot图样

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92502316.png

不同位置的Talbot图样

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P925292K.png

沿Z轴的强度

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92559518.png

走进VirtualLab Fusion

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92I63H.png

VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]

 通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例]

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92Q1A4.png

VirtualLab Fusion技术

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92T2922.png

文件信息

http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/201118/1-20111P92911104.png

延伸阅读
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
- 光栅级次分析器
- Talbot效应的建模

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