光学测量系统的分析与公差(下)
4. 总结研究了迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案并应用于高度轮廓扫描
1. 仿真
用光线追迹对干涉仪的仿真。
2. 计算
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
3. 研究
测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量
利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
4. 总结
研究了迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案并应用于高度轮廓扫描
1. 仿真
用光线追迹对干涉仪的仿真。
2. 计算
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
3. 研究
测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量
利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
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