分析高数值孔径物镜的聚焦特性
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 https://img.jishulink.com/upload/202311/c28130a06929431286d21ed049fe26ef.png
建模任务
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概述
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。https://img.jishulink.com/upload/202311/a2674073b7f84c64afcc98f244d18b7a.png
光线追迹仿真
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。•单击go！•获得了3D光线追迹结果。https://img.jishulink.com/upload/202311/88318cadf2644964bbbd6e36db4003c7.png
光线追迹仿真
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。•单击go！•结果得到点图（二维光线追迹结果）。https://img.jishulink.com/upload/202311/624b352148924eddb91fdd04028c2779.png
场追迹仿真
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。•单击go！https://img.jishulink.com/upload/202311/9bb0f2e4311e48c6a73da18c8c88d2d1.png
场追迹仿真（相机探测器）
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。https://img.jishulink.com/upload/202311/bb6d670fd6a441678b5ed526f32f716c.png
场追迹仿真（电磁场探测器）•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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场追迹仿真（电磁场探测器）
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。https://img.jishulink.com/upload/202311/a293b65cad774244bb61600130ea86a3.png
文件信息https://img.jishulink.com/upload/202311/1b4127569b3b4fac8dd62cf3907ddfa0.png
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