具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。https://img.jishulink.com/upload/202312/43162651acef4e1a96cff16a37978a70.png1. 建模任务https://img.jishulink.com/upload/202312/79cfce9b7c36407fb039c5e23695ef4c.png
https://img.jishulink.com/upload/202312/4be821a5b05d43548d1e4c7bbab2d65e.png
3. 文件和技术信息https://img.jishulink.com/upload/202312/d8844835b522488298148113fe709005.png
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