导论: 显微镜中使用的能量转换无焦光学系统,安装在转塔上可以旋转。 一个双胶合透镜与普通显微物镜组合,使出射光成平行光,这就构成了能量转换系统,然后,光束传播到另一个双胶合透镜,由目镜观察。 能量转换系统的透镜设计要使光束通过两个透镜(单位光焦度),这些透镜可以旋转到对应的位置。 设计一个0.75X的能量转换无焦光学系统,入瞳直径0.59in。
ZEMAX仿真: (1)系统建模: 由设计要求,在“Units”的“Lens Units”选择“inches(英寸)”。如下图:
在孔径类型中选择“Entrance Pupil Diameter”,输入0.59,Apodization Type选择“Uniform”。 如下图:
在Field Data里,选择“Angle(Deg)”,输入0,如下图: 在波长设定对话框中,输入0.546um,0.640um,0.480um,0.590um和0.515um五个波长,0.546um为主波长,权重为1,其他4个波长的权重如下图: 然后将初始结构数据都输入到LDE中,如下图: 然后查看下初始2D Layout,如下图:
(2)系统优化: 打开MFE,选择“Tools-Default Merit Function”,在评价函数设置对话框中,选择默认的评价函数构成为“RMS+Spot Radius+Centroid”。“Rings”选项为“3”, “Arms”选项为“6”。 增加以下操作数: PARY操作数,指定第7面的y向坐标,Py=1; PARY操作数,指定第2面的y向坐标,Py=1; DIVI操作数,指定第1个操作数和第2个操作数相除,目标值1.333,权重10; TTHI操作数,用于监控第2面到第6面的厚度; OPLT操作数,控制第4个操作数小于1.4,权重1。 CTGT操作数,控制第4面的中心厚度大于0.78,权重1; MNEG操作数,控制第2面至第6面的最小玻璃边缘厚度,目标值是0.06,权重10; MNCG操作数,控制第2面至第6面的最小玻璃中心厚度,目标值是0.05,权重10; MXCG操作数,控制第2面至第6面的最大玻璃中心厚度,目标值是0.3,权重1。 如下图所示: 打开LDE,将第2面至第7面的半径,第2面和第6面的厚度设置为变量,如下图所示: 点击OPT开始优化。 查看优化后的2D Layout: 波前图,如下图: Ray Fan图: MTF图: |