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张宝武，张超超，刘若男，王道档，沈小燕，余桂英
（中国计量大学计量测试工程学院，浙江 杭州３１００１８）
【摘要】目的：探究基片对激光会聚原子沉积的影响。方法：根据光学势阱中原子运动的轨迹方程，对会聚场的光学势阱、原子运动轨迹和沉积条纹等进行了仿真实验。结果：衍射式光学势阱使原子轨迹提前会聚，进而与倾斜角一起对沉积条纹的质量参数产生了影响。在正倾时，随着 的增大，条纹半高宽增大，条纹峰值减小；在负倾斜时，随着的增大，条纹半高宽保持不变，条纹峰值增大；同时随着的增大，沉积条纹的峰值位置相对于波节的偏移量趋向单调增大。在非衍射条件下，偏移量增大４ｎｍ；在衍射条件下，偏移量增大１５ｎｍ。结论：由于衍射的存在，不管基片表面正倾斜还是负倾斜，基片表面上方沿着ｚ方向都会存在一个直边衍射式的光学势阱。
【关键词】计量；激光会聚；光学势能；衍射；倾斜度
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