用于高NA显微镜成像的工程化PSF

摘要

与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。



设计任务



仅位相透射设计（IFTA）



仅位相透射设计（IFTA）



超表面晶胞分析



构建超光栅



初始超表面设计的评估



参数优化



优化超光栅设计的评估



走进VirtualLab



VirtualLab Fusion的工作流程
 分析超表面晶胞
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
 构造超光栅
 分析光栅衍射效率
- 光栅级次分析 [用例]
 光栅结构参数优化



VirtualLab Fusion技术



文件信息