基片表面倾斜及衍射对激光会聚原子沉积条纹的影响
张宝武,张超超,刘若男,王道档,沈小燕,余桂英(中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州310018)
【摘要】目的:探究基片对激光会聚原子沉积的影响。方法:根据光学势阱中原子运动的轨迹方程,对会聚场的光学势阱、原子运动轨迹和沉积条纹等进行了仿真实验。结果:衍射式光学势阱使原子轨迹提前会聚,进而与倾斜角一起对沉积条纹的质量参数产生了影响。在正倾时,随着http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/250815/1-250Q51A646318.png的增大,条纹半高宽增大,条纹峰值减小;在负倾斜时,随着http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/250815/1-250Q51A646318.png的增大,条纹半高宽保持不变,条纹峰值增大;同时随着http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/250815/1-250Q51A646318.png的增大,沉积条纹的峰值位置相对于波节的偏移量趋向单调增大。在非衍射条件下,偏移量增大4nm;在衍射条件下,偏移量增大15nm。结论:由于衍射的存在,不管基片表面正倾斜还是负倾斜,基片表面上方沿着z方向都会存在一个直边衍射式的光学势阱。
【关键词】计量;激光会聚;光学势能;衍射;倾斜度
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